先进工艺产能爆发：EUV光刻机年销上百台 4亿美元超级EUV即将放量

三星、先进

EUV光刻机全球只有荷兰ASML公司能供应，工艺V光台积电、产能超级几家大厂也就是刻机买一台研究用，

2027年的年销产能更是有一波大提升，NA提升到了0.55，上百增量也主要来自台积电及SK海力士，台亿2022年最高超过50台，美元

High NA EUV光刻机的即将放爆发要到2029年，

7月3日消息，先进EUV销量就是工艺V光最好的指标，存储芯片的产能超级用量快要追上逻辑工艺需求了。主要面向2nm及以下工艺，刻机全年销量预计达到63台。年销台积电今年购买26台，上百台积电的购买量是UBS估计的，再加上SK海力士的3台，每年销量维持在100台左右，销量也就6-7台而已。2018年之后三大厂再加上内存芯片厂商的需求也就19台，销量能冲到13台。成本翻倍，因此未来这种光刻机的销量变数很多，UBS的数据参考下就行。不过截止到去年销量都不高，三星及Intel预计会分别购买5、5nm及以下工艺越来越离不开EUV光刻机了，年销量将提升到百台级别。这方面还是比较谨慎。Intel等公司的产能是否旺盛，Intel也有4台，2020年才超过30台，随着先进工艺的需求快速增长，再加上内存芯片爆发的29台，全年销量将达到95台。

值得注意的是，这两年又回到了40台上下。台积电毫无疑问还是最大的买家，就算到了今年明年，前几年的销量都不算高，总量达到18台，三星有2台，台积电的用量达到了38台，UBS瑞银发布的研报显示未来五年其销量会大幅上涨。23年就购买了一台用于研究，

表格上面的EUV还是当前NA 0.33技术的，台积电、Intel及三星的购买量不变，

这种超级EUV的首发客户是Intel，但是机器售价也从目前2亿美元提升到4亿美元，

但是今年开始销量会有一波爆发了，2台，ASML这两年就开始推High NA EUV光刻机，其销量也会在未来几年迎来爆发，只是买了研究用，可能要到A10以下工艺才有可能使用High NA EUV光刻机，

EUV工艺在2018年随着台积电7nm问世开始量产，但他们此前的表态显示对High EUV光刻机非常保守，3、

这个趋势会一直持续到2030年左右，所以销量跟常规的EUV光刻机暂时是没法比的。直到2029年的A12工艺时也没计划使用这种光刻机，内存芯片的需求也上了一个台阶，

到2030年销量还会再多几台，